三坐標測量機的立柱在負X坐標方向移動速度不均勻，有時反向還不移動。
三坐標維修故障檢查與分析：
機床采用的是氣浮靜壓導軌，在負X坐標方向移動速度不均勻應(yīng)該與氣源有關(guān)系，氣源空氣壓力不足或壓力不均勻都可能造成這種情況發(fā)生。經(jīng)過對機床的工作原理分析，認為可能產(chǎn)生故障的原因是：①空氣過濾器阻塞；②管路有泄漏；③控制閥失靈。通過對以上3點內(nèi)容進行檢查，進入機床的空氣壓力為0.65MPa，查機床說明書整機氣壓要求為0.6~0.7MPa，氣壓滿足要求，排除了機床的空氣壓力問題。于是對三坐標測量機的進給控制系統(tǒng)進行檢查。
從三坐標測量機的伺服控制單元人手，逐一排查伺服控制單元的伺服軸驅(qū)動器、速度傳感器、DC伺服電動機等，步驟如下。
（1）檢查X軸DC伺服電機的轉(zhuǎn)動：
通電時電動機在+X坐標轉(zhuǎn)動正常，而-X坐標轉(zhuǎn)動不正常。檢查電動機的機械傳動部分，給機床斷電，用手去盤電動機，發(fā)現(xiàn)電動機在無傳動鋼帶（鋼帶用來聯(lián)接導軌和立柱伺服電動機的齒輪傳動副的滾動輪）時轉(zhuǎn)動無阻滯（時松時緊）現(xiàn)象。有鋼帶時電動機反向轉(zhuǎn)動鋼帶很緊盤不動（正常是可以盤動的）。并且在x坐標導軌上發(fā)現(xiàn)有輕微的擦痕。
（2）檢查機械傳動部分：
檢查齒形皮帶、齒輪、蝸桿、滾動輪和鋼帶等機械傳動部分，調(diào)整鋼帶的松緊程度。X坐標是通過DC伺服電動機轉(zhuǎn)動帶動齒形皮帶，再通過齒輪、蝸桿、滾動輪和鋼帶等帶動立柱在X方向上運動。立柱是由氣浮墊的排氣小孔向外排氣，在氣墊和導軌之間產(chǎn)生氣隙，氣體使立柱導軌懸浮起來進行移動。用空氣作為潤滑劑，它*消除了固體之間的摩擦及摩擦發(fā)熱。空氣比油粘滯性小，耐高溫，無污染。要保證氣浮墊與氣浮導軌之間有一定的氣隙。氣浮墊是采用小孔、狹縫等節(jié)流阻抗固定的節(jié)流器，調(diào)節(jié)節(jié)流器的空氣流量的大小就可以調(diào)整氣浮墊與氣浮導軌間的氣隙大小。氣浮墊有兩個小孔，一個是進氣孔，一個是排氣孔。要求排氣孔的氣壓>進氣孔的氣壓。該機床要求氣浮墊與氣浮導軌之間的氣隙為4um。如果氣隙小于4um，氣浮墊與導軌間的間隙減小，空氣阻力隨之而增大，電動機的負荷也相應(yīng)增大，立柱的移動速度就會變慢；反之如果氣隙大于4um，氣浮墊與導軌間的間隙增大，空氣阻力隨之而減小，電動機的負荷也相應(yīng)減小，立柱的移動速度就會加快，這樣就影響了機器的測量精度。因此氣浮墊與氣浮導軌之間的氣隙一定要合適。斷電后用手去輕輕盤氣浮墊，如果能盤動證明有氣隙，如果不能盤動證明沒有氣隙或氣隙不夠，氣隙的大小要通過儀器來測量。本故障檢修時，用手去盤氣浮墊，發(fā)現(xiàn)在-X坐標的末端處的一個氣浮墊比其它氣浮墊要緊些，由此懷疑是氣路方面有問題。
（3）檢查氣路系統(tǒng)
檢查氣路系統(tǒng)中的空氣過濾器、油水分離器、空氣流量閥等以及氣路中的壓縮空氣是否干凈（不能有雜質(zhì)），是否含有水分和油分（一定不能含有水和油）。
此故障由于缺乏詳細的技術(shù)資料，解決比較困難。只能按照說明書中的保養(yǎng)要求，對機床采取下面的分步檢查步驟：（1）打開立柱護板，在X坐標方向上用手左右移動立柱，看是否移動靈活。（2）用塞尺插入立柱與導軌之間，檢查立柱與導軌間的間隙，看間隙是否符合要求值。（3）不通電時取下鋼帶，用手盤X軸電動機，檢查機械傳動部分是否完好。（4）用綢布和*清潔X導軌，保證導軌無灰塵。（5）用棉紙檢查壓縮空氣中是否有水分和油等雜質(zhì)，發(fā)現(xiàn)棉紙上有油分和水分。（6））拆下立柱上聯(lián)在氣浮墊的所有氣管接頭、用玻璃吸管吸取*來清潔立柱上與X軸相關(guān)的所有氣浮墊的氣管。（7）用手輕輕扳動氣墊上的氣管接頭，檢查氣墊轉(zhuǎn)動是否靈活。檢查發(fā)現(xiàn)立柱后側(cè)的17號氣墊用手移動時不靈活，用塞尺檢查發(fā)現(xiàn)氣隙偏小。立柱上共有22個氣浮墊，其中左前側(cè)6個、左側(cè)3個。氣體進入氣浮墊，通過調(diào)流量閥的流量來控制氣浮墊中間孔的進氣量的大小，達到調(diào)節(jié)氣浮墊與導軌間隙的目的。每一個氣浮墊都有相應(yīng)的流量閥來配合調(diào)節(jié)使用，氣閥標注的氣壓范圍是0~1MPa，整機氣壓要求為0.7MPa。立柱的氣墊分布如圖1所示。（8）用在氣管接頭連接處涂抹肥皂水的方法檢查氣路是否有泄漏，檢查結(jié)果沒有泄漏現(xiàn)象。（9）檢查流量閥是否開啟，結(jié)果是開啟的。（10）檢查空氣過濾器，發(fā)現(xiàn)過濾器濾芯較臟。重新更換了濾芯。在檢查氣路過程中發(fā)現(xiàn)壓縮空氣中含有油和水，使氣路被油污染和含有水分。
三坐標維修故障解決方法：
造成此故障的原因是：由于空壓機對空氣壓縮的同時會把空氣中的油分子、水分子壓縮成油和水，同時空壓機工作時有一部分潤滑油也進入到壓縮空氣中；壓縮空氣中的油和水等雜質(zhì)隨著壓縮空氣進入到平衡氣缸和氣浮墊。其后果會造成當測量機工作時油和水附在導軌上，使導軌的直線度改變；當測量機不工作時管路中的油滴可能會堵塞氣浮墊的氣孔，使氣浮墊不能正常浮起，造成氣浮墊與導軌的摩擦而損壞測量機，還會腐蝕氣浮墊和平衡氣缸。雖然測量機都配置有油水分離器或前置過濾器，但如果管路中的油和水較多，過濾器很快就會達到飽和而無法過濾，水和油等雜質(zhì)就會進入測量機，氣浮墊與導軌之間的氣隙小于6um的規(guī)定要求，使氣浮墊與導軌之間產(chǎn)生了摩擦，造成了氣浮墊移動不靈活。為此必須采取多級前置過濾的方法，除去油和水等雜質(zhì)。為此我們在機床的氣路中再單獨接了一空氣過濾裝置和油水分離器，進一步過濾掉空氣中的雜質(zhì)和分離出空氣中的油和水，從而提高了壓縮空氣的質(zhì)量。再通過不銹鋼管把凈化后變干凈的空氣送到機床去。另外從空壓機排出的壓縮空氣中，包含有粒度為0.01~0.08um的壓縮機油微粒，這些微米級以下的顆粒，一般過濾器無法過濾，要求濾芯非常的精細，建議用高精密的過濾器。用*反復(fù)清潔17號氣浮墊的氣路，直至氣浮墊變靈活為止。實踐證明，采用該方法*地解決空氣質(zhì)量造成的三坐標測量機立柱移動不均勻的問題。
